Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю.А.Быстров, Е.А.Колгин, Б.Н.Котлецов
Автор(ы): Быстров, Ю. А.; Колгин, Е. А.; Котлецов, Б. Н.Язык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Радио и связь, 1988Физическая характеристика: 167 с.ББК: 32.844.15 ; 47.33.31Note(s): Библиогр.: с. 162-166 (105 назв.).
Нет никаких комментариев для этого документа.