Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : [учебное пособие для приборостроительных специальных вузов / А. А. Сазонов и др.] ; под редакцией А. А. Сазонова
Автор(ы): Сазонов, А. А.Язык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: Москва : Высшая школа, 1991Физическая характеристика: 333, [1] с. :
ил. ;
21 смISBN:5-06-000731-6.ББК: 32.844.1-06-05я73Note(s): Библиография: с. 332 (12 назв.).
Нет никаких комментариев для этого документа.