Плазменная технология в производстве СБИС / Айнспрук Н. ред ; Д.Толливер, Р.Новицки, Д.Хесс и др. ; Под ред. Н.Айнспрука, Д.Брауна ; Перевод с англ. Ю.М.Золотарева, В.В.Юдина ; Под ред. Е.С.Машковой

Автор(ы): Толливер, Д.;
                   Новицки, Р.;
                   Хесс, Д.;
                   Айнспрук, Н.;
                   Браун, Д.;
                   Золотарев, Ю. М.;
                   Юдин, В. В.;
                   Машкова, Е. С.Язык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Мир, 1987Физическая характеристика: 469 с.ББК: 32.844.1 ; 47.33.31Note(s): Авт. указаны на обороте тит. лПредм.-имен. указ.: с. 463-466Перевод изд.: VLSI electronics microstructure science. Vol. 8: Plasma processing for VLSU (Orlando etc., 1984).; Библиогр. в конце глав.
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Книги, брошюры Книги, брошюры
Минская областная библиотека. Читальный зал
Выдается

Авт. указаны на обороте тит. лПредм.-имен. указ.: с. 463-466Перевод изд.: VLSI electronics microstructure science. Vol. 8: Plasma processing for VLSU (Orlando etc., 1984).

Библиогр. в конце глав

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: