Физика субмикронной литографии / Валиев К.А.
Автор(ы): Валиев, К. А.Язык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Наука, 1990Физическая характеристика: 528 с.ББК: 32.844.1 ; 47.33.31Note(s): Библиогр. в конце глав.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.