Обработка монокристаллов в микроэлектронике / В.И.Корбань, Ю.И.Борзаков
Автор(ы): Корбань, В. И.; Борзаков, Ю. И.Язык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Радио и связь, 1988Физическая характеристика: 103 с.ББК: 32.843.3 ; 47.09Note(s): Библиогр.: с. 96-102 (148 назв.).
Нет никаких комментариев для этого документа.