Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем / И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб
Автор(ы): Белов, И. А.; Шеленшкевич, В. А.; Шуб, Л. И.Язык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: Ленинград : Политехника, 1991Физическая характеристика: 287, [1] с. :
ил. ;
22 смISBN:5-7325-0001-4.ББК: 32.852 + 32.844.1Note(s): Библиография: с. 283―286 (77 назв.).
Нет никаких комментариев для этого документа.