Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники / Гиваргизов Е.И ; С предисл. Е.П.Велихова
Автор(ы): Гиваргизов, Е. И.Язык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Наука, 1988Физическая характеристика: 176 с.ББК: 22.379.2 ; 29.19Note(s): Библиогр.: с. 158-176.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.