000 01440cam0 22003251ib4500
001 BY-MI0000-br61016
005 20241205152915.0
035 ^a(BY-MI0000)BY-MI0000-br61016
100 ^a20110401d1991 y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aRU
105 ^aa z 000yy
200 1 ^aТехнология производства интегральных микросхем
^eУчеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 2002 "Пр-во изделий электрон. техники"
^fМалышева И.А.
210 ^aМ.
^cРадио и связь
^d1991
215 ^a344 с.
300 ^aЗагл. 1-го изд.: Технология производства микроэлектронных устройствПредм. указ.: с. 338-342.
320 ^aБиблиогр.: с. 338 (16 назв.)
610 0 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ
610 0 ^aТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
610 0 ^aІНТЭГРАЛЬНЫЯ МІКРАСХЕМЫ
610 0 ^aТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ
686 ^a32.844.15-06я72
^v2
^2rubbk
686 ^a47.33.31
^v4
^2rugasnti
690 ^a1
^2Base
^9BY-MI0000
^xRSEK
700 1 ^aМалышева
^bИ. А.
801 0 ^aBY
^bBY-MI0000
^c20110401
^gpsbo
801 2 ^aBY
^bBY-MI0000
^c20190320
^gpsbo
899 0 ^aBY-MI0000
^iМ 20
^h32.844.15-06я72