| 000 | 01466cam0 22003491ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-MI0000-br60935 | ||
| 005 | 20211222123802.0 | ||
| 100 | ^a20110401d1989 y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 105 | ^aa z 000yy | ||
| 200 | 1 |
^aОптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники ^fЧехович Е.К ^gАН БССР, Ин-т электрон. |
|
| 210 |
^aМн. ^cНаука и техника ^d1989 |
||
| 215 | ^a213 с. | ||
| 320 | ^aБиблиогр.: c. 200-211 (267 назв.). | ||
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aРАЗМЕРЫ | |
| 610 | 0 | ^aТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ | |
| 610 | 0 | ^aКОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ | |
| 610 | 0 | ^aМІКРАЭЛЕКТРОНІКА | |
| 610 | 0 | ^aТЭХНІЧНЫ КАНТРОЛЬ | |
| 610 | 0 | ^aКАНТРОЛЬНА-ВЫМЯРАЛЬНЫЯ ПРЫБОРЫ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 686 |
^a32.844.1 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a47.33.31 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-MI0000 ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^aЧехович ^bЕ. К. |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-MI0000 ^c20110401 ^gpsbo |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-MI0000 ^c20190320 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-MI0000 ^h32.844.1 ^iЧ 56 |
||