| 000 | 01638cam0 22003611ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-MI0000-br60909 | ||
| 005 | 20211222123802.0 | ||
| 100 | ^a20110401d1990 y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aRU | ||
| 105 | ^ay z 000yy | ||
| 200 | 1 |
^aМикролитография ^fМоро У ^gПеревод Д.Ю.Зарослова и др. |
|
| 210 |
^aМ. ^cМир ^d1990 |
||
| 215 | ^aС. 614-1244 | ||
| 300 | ^aПеревод изд.: Semiconductor litography / Wayne M. Moreau (New York; London). | ||
| 320 | ^aБиблиогр. в конце глав | ||
| 461 | 0 |
^12001 ^aМикролитография ^eПринципы, методы, материалы ^eВ 2 ч. ^gПеревод с англ. под ред. Р.Х.Тимерова ^gПредисл. К.А.Валиева ^vЧ. 2 ^1210 ^d1990- |
|
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aЛИТОГРАФИЯ | |
| 610 | 0 | ^aМІКРАЭЛЕКТРОНІКА | |
| 610 | 0 | ^aЛІТАГРАФІЯ | |
| 686 |
^a32.844.1 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a47.33.31 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-MI0000 ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^aМоро ^bУ. |
|
| 702 | 1 |
^aТимеров ^bР. Х. ^4340 |
|
| 702 | 1 |
^aЗарослов ^bД. Ю. ^4730 |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-MI0000 ^c20110401 ^gpsbo |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-MI0000 ^c20190320 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-MI0000 ^h32.844.1 ^iМ 80 |
||