| 000 | 01149cam0 22002891ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-MI0000-br53522 | ||
| 005 | 20211222123548.0 | ||
| 100 | ^a20110401d1988 y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aRU | ||
| 105 | ^aa z 000yy | ||
| 200 | 1 |
^aИскусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники ^fГиваргизов Е.И ^gС предисл. Е.П.Велихова |
|
| 210 |
^aМ. ^cНаука ^d1988 |
||
| 215 | ^a176 с. | ||
| 225 | 0 | ^aПроблемы науки и технического прогресса . | |
| 320 | ^aБиблиогр.: с. 158-176. | ||
| 610 | 0 | ^aЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ | |
| 610 | 0 | ^aЭПІТАКСІЯЛЬНЫЯ ПЛЁНКІ | |
| 686 |
^a22.379.2 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a29.19 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-MI0000 ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^aГиваргизов ^bЕ. И. |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-MI0000 ^c20110401 ^gpsbo |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-MI0000 ^c20190320 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-MI0000 ^h22.379.2 ^iГ 46 |
||