000 01405cam0 22003611ib4500
001 BY-MI0000-br15966
005 20211222122637.0
035 ^a(BY-MI0001)BY-MI0001-br85893
100 ^a20110401d1998 y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aBY
105 ^aa j 000yy
109 ^aga
200 1 ^aЛитография в производстве интегральных микросхем
^eУчеб.пособие для проф.-техн.училищ профессии электрон.техники
^fРодионов,Ю.А.
210 ^aМн.
^cДизайн ПРО
^d1998
215 ^a96 с.
300 ^aНа обл.авт.не указан.-
320 ^aБиблиогр.: с.95 (4 назв.).
345 ^91000 экз.
610 0 ^aЛитография
610 0 ^aИнтегральные схемы
610 0 ^aЛітаграфія
610 0 ^aІнтэгральныя схемы
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
686 ^a32.844.15я72
^v2
^2rubbk
686 ^a47.33.31
^v4
^2rugasnti
690 ^a1
^2Base
^9BY-MI0000
^xRSEK
700 1 ^aРодионов
^bЮ. А.
801 0 ^aBY
^bBY-MI0000
^c20110401
^gpsbo
801 2 ^aBY
^bBY-MI0000
^c20190320
^gpsbo
899 ^aBY-MI0000
^h32.844.15я72
^iР 60